微量氧分析仪的原理主要有化学电池法、原电池法、燃料电池法、赫兹电池法和浓差电池法。要检测的氧气先通过一个小的毛细口传感器，然后通过一个疏水膜扩散进入，到达电极表面。传感器的结构设计保证会有适量的气体进入与感应电极反应产生足够的电信号，并同时防止电解液泄漏出传感器。通过疏水膜扩散进入传感器里的气体在感应电极发生氧化/还原反应，电极间连接一个电阻，这样，阴极和阳极间会产生一个与氧浓度成正比的电流。通过检测这个电流，就反应出气体中的氧浓度。

　　微量氧分析仪的操作方法及注意事项：

　　用6mm，3mm不锈钢管连接气路及采样预处理系统，分别检查管路的气密性。通电10min进出口阀全关闭时，仪器示值应小于10X10，否则说明系统气密性存在问题，必须排除。检查仪器的安全性能，系统绝缘电阻不小于5MΩ。然后进行校准。

　　1)在正常的情况下不对仪器的零点校准(只需用，无氧的气体进行吹扫)，只对仪器的量程用标气进行校准。

　　2)依次打开出口阀和进口阀，旋转五通阀到置换气位置，接通吹扫气，调整压力小于0.02MPa，调整流量为0.2SLPM迅速进入氧电池，进行吹扫(一般需要2~12h)读数约为2*10。

　　3)吹扫读数稳定后，进行量程标定，缓慢打开气瓶减压阀，调整压力为0.02MPa，将五通阀切换到量程位，置，调整流量为1.0SLPM，当读数稳定后按操作步骤进行量程标定。仪器标定完后，将五通阀切换到测量位置，慢慢打开样气取样阀，将压力调整在0.02MPa，流量调整在1.0SLPM。当仪器显示稳定后即是所测样气中氧的含量。仪器使用时应注意。