电感耦合等离子体质谱仪（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer，简称ICP-MS）利用电磁场在气体（一般是氩气）中激发等离子体并将样品离子化，再利用质谱仪进行质量分析和定量分析。

具体原理如下：

1. 电磁激发等离子体：ICP-MS中的等离子体是在高频电场下，由氩气激发而产生的。这个过程称为电感耦合（Inductively Coupled）。高频电磁场产生的交变磁场在电磁体内形成固定极性的交变磁通，使环形电感线圈内的氩气电离，产生等离子体。

2. 样品离子化：在ICP-MS中，样品必须以离子形态存在才能用于质谱分析。样品经过预处理后，被送入ICP-MS中的等离子体。这样，样品中的大多数元素都会被离子化为单电荷阳离子。

3. 质谱分析：经过离子化的离子被送到质谱仪中进行分析。在质谱仪中，先将离子加速到高速度，然后进入同轴磁场管。在同轴磁场下，离子受到洛仑兹力的作用偏转，并形成一个离子束。不同的离子在磁场中受到的偏转角度不同，因此它们可根据其荷质比离散地沿着磁场管向前飞行。在质谱仪的终点处，有一种叫作离子计的探测器，用来测量不同荷质比的离子数量。

4. 数据分析：质谱仪测量出的数据需要经过分析处理才能得出样品中元素的含量。通常采用内标法和外标法。其中内标法是将标准品加入到样品中一起处理，并将其荷质比与所需元素的荷质比相近的内标元素比较，来纠正潜在的分析误差。而外标法则是将样品与标准品分别处理，然后用标准曲线法来计算样品中元素的含量。